电子镜筒
主要特征：
1. 高分辨- 采用高分辨电-磁复合浸没物镜、全静电高速偏转器组成主/次二级扫描场，
2. 低电压高清晰成像-带样品台减速低落地能量模式
3. 更大成像范围-摇摆物镜
4. 更快成像速度
主要应用场景：
低电压成像如半导体、生物样品、有机材料，软物质等成像。
电子镜筒主要组成：
高真空镜筒腔室
高分辨电-磁复合浸没物镜
全静电高速扫描偏转器
低电压摇摆物镜(可选)
In-Lens直接电子探测器
全电动光阑
气冷/水冷附件
电子镜筒是电子显微镜、电子束3D打印机、电子束光刻机等电子光学系统的核心模组。
扫描电子镜筒通过对光轴内的电子束进行控制，使电子束汇聚于样品上，进行偏转扫描，配合电子探测器收集信号获得样品表面形貌像或用于加工刻画微图形。
镜筒预留多种接口，可选配预充电电子源、镜筒内电子探测器、二级扫描偏转器、光学导航、激光测高等附件拓展功能。
可提供开发套件，协助客户进行功能测试和二次开发。
如有特殊需求， 可定制开发。
