电子镜筒

电子镜筒是电子显微镜、电子束3D打印机、电子束光刻机等电子光学系统的核心模组。

扫描电子镜筒通过对光轴内的电子束进行控制，使电子束汇聚于样品上，进行偏转扫描，配合电子探测器收集信号获得样品表面形貌像或用于加工刻画微图形。