电子枪

电子枪是产生、加速及汇聚电子束流的装置,在电场作用下,电子从电子源射出,经加速极加速、经聚光镜会聚,即可获得一定能量、束流密度的电子束。它是电子光学系统的核心模组, 可应用于扫描电子显微镜、透射电子显微镜、电子束3D打印机、电子束光刻机等。

本公司研发的高性能场发射电子枪设计理念先进、性能卓越,主要部件包括(含订制件)热场发射电子源、电/磁聚光镜、电/磁消像散器、电对中系统、高可靠性真空阀门、离子泵、光阑等。